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[기술&시장 리포트] 반도체 웨이퍼 검사 장치(Semiconductor Test Equipment)

[기술&시장 리포트] 반도체 웨이퍼 검사 장치(Semiconductor Test Equipment)

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웨이퍼 패턴 결함은 물론 영상 및 영상처리 기술을 응용한 결함 검사 장비 등 다양하게 활용되는 반도체 웨이퍼 검사 장치 분야 특허 기술 트렌드 및 시장 동향을 분석한다.

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요약

반도체 웨이퍼 검사 장치는 반도체 패턴 결함 검사 공정을 위한 검사 장비의 설계 및 구성, 영상처리 방법에 관한 기술을 요구한다.

웨이퍼 패턴 결함 검사는 물론 영상 및 영상처리 기술을 응용한 결함 검사 장비 등에 다양하게 활용된다.

반도체 웨이퍼 검사 장치 분야 특허 기술 트렌드 및 시장 동향을 살펴본다.

 

총 페이지 :     69 p  

Appendix: 유사 특허 조사리스트 (33개)

별도 부록 :  특허DB 완전정복 (종합편)  80 p  

 

  반도체 웨이퍼 검사 장치 기술 및 시장 

 

반도체 웨이퍼의 결함을 검사하기 위해 웨이퍼 영상을 획득, 검사하는 웨이퍼 영상 검사 장치로서 주기적으로 조명광을 발생시켜서 대상 웨이퍼에 조사한 후 반사되는 웨이퍼의 영상을 투과 및 산란시켜 얻은 분할 영상의 패턴을 분석해 결함여부를 판단하는 반도체 전공정에서의 패턴결함 검사 장치이다.

 

[그림] 반도체 검사 장치(예시)

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