요약
반도체 장비 부품용 이중 세라믹 피막 코팅은 플라즈마 증착 혹은 에칭, 애싱, 세정 장치에서 장치 내부재(부품)에 내부식성이 우수한 산화물을 열용사 및 저온분사 코팅하는 기술이다.
PECVD, PEALD, 스퍼터 등 반도체 제조 장비는 물론 디스플레이, 태양전지 모듈 제조용 플라즈마 처리 장치의 내부재(부품) 등 다양하게 활용된다.
반도체 장비용 이중 세라믹 피막 코팅 분야 특허 기술 트렌드 및 시장 동향을 살펴본다.
총 페이지 : 48 p
Appendix: 유사 특허 조사리스트 (21개)
별도 부록 : 특허DB 완전정복 (종합편) 80 p
반도체 장비용 이중 세라믹 피막 코팅 기술 및 시장
반도체 제조장치 중 플라즈마를 이용하는 장치의 내부재(부품)의 부식과 손상을 방지하기 위한 이중 세라믹 피막 코팅 기술 및 사용된 내부재의 코팅을 위한 세정 기술이다.
[그림] ] 저온 분사 코팅 개념도
주요내용
주요 목차
기술 및 특허 동향
▶반도체 장비 부품용 이중 세라믹 피막 코팅 제품 개요
▶ 핵심 기술 트렌드
◊ 해외 동향
◊ 국내 동향
플라즈마 처리 장치의 내부재 표면에서 요구되는 기능, 품질특성을 가장 적합한 재질을 선정해 그 재질을 내부재의 표면에 용사 코팅하는 기술이 발전하고 있다.
[그림] 용사 방법의 개념도
국내외 특허 현황
[표] 주요 선행기술 특허 요지리스트/명세서
시장 현황 및 전망
▶반도체 장비 부품용 이중 세라믹 피막 코팅 시장 개요
▶ 산업 개요
▶ 반도체 장비 부품용 이중 세라믹 피막 코팅 산업 현황 및 전망
국내 반도체 제조장비 부품의 세정·코팅 시장 규모는 삼성전자와 SK하이닉스의 반도체 시장 점유율 유지, 반도체 제조장비 부품의 국산화율의 향상에 따라 세계 반도체 장비 산업 성장률인 7.06% 보다 높은 연평균성장률(CAGR)로 성장할 것으로 예측된다.
[그림] ] 세계 반도체 장비시장 지역별 현황
Appendix : keywert 인공지능(AI) 유사특허 조사 리스트
keywert가 개발한 유사특허 선별 시스템을 활용해 [기술 & 시장] 리포트 관련 산업 영역에서 국내외 주요 특허 리스트를 도출했다.
[표] 유사특허 요지리스트
별도 부록: [종합편] 특허DB 완전정복 (80 p)
▶[특허DB 완전정복] 선행기술 조사(초급)
▶[특허DB 완전정복] 이것만 알면, 나도 특허 전문가(초급Ⅱ)
▶[Appendix] keywert로 선행기술조사 따라잡기
▶[특허DB 완전정복] 중국 특허, 내 손안에 펼쳐보기(Ⅰ)
▶[특허DB 완전정복] PCT 국제출원
▶[특허DB 완전정복] 특허침해 & FTO 분석
저자 및 기관소개
한국발명진흥회 지식재산평가센터
한국발명진흥회 지식재산평가센터는 기술이전 및 사업화 촉진에 관한 법률 제 35조, 발명진흥법 제 28조 등에 따른 정부 공인 기술평가기관이다.
지난 3년 연속(2014~2016) 기술가치평가 수행건수 1위 실적을 보유한 국내 최고 수준의 기술가치평가기관으로, 다양한 분야 공학박사, 변리사, 회계사 등 전문인력을 보유했다. 동시에 대학, 연구소, 산업계에서 지식과 경험을 갖춘 400명 이상의 외부 전문가그룹도 확보하고 있다. 이들 내‧외부 전문가들이 법인‧개인 등이 보유한 기술에 대해 현물출자, 기술거래(이전), 투자유치, 특허권 침해, 손해배상액 등 다양한 용도의 기술가치평가를 수행한다.
지식재산평가센터는 의약·바이오, 농수산, 해양수산 분야에 특화된 다수의 지식재산 가치평가 모델과 기술가치평가 방법론을 개발해 끊임없이 전문성을 높이고 있다.
본 기술시장 보고서는 한국발명진흥회 지식재산평가센터가 다년간 축적해온 기술가치평가 보고서를 기반으로 작성됐다.
*기술가치평가: 사업화하려는 기술이나 사업화된 기술이 해당 사업을 통해 창출하는 경제적 가치(금액)를 시장에서 일반적으로 인정된 가치평가 원칙과 방법론에 입각해 평가하는 작업.
