반도체급 실리콘칩을 생산하는 장비와  웨이퍼의 결함을 검사하는 장비 등 실리콘 웨이퍼(Silicon Wafer) 분야 특허 기술 트렌드 및 시장 동향을 살펴본다.

보고서  3권  (총 126 p)

별도 부록:  [특허DB 완전정복] 선행조사 및 특허검색 (80 p) 

보고서 1.  실리콘 웨이퍼(Test/Reclaim)

     페이지 :  27 p   

실리콘 웨이퍼(Test/Reclaim)는 반도체에 필수적으로 활용되는 웨이퍼 중 실리콘 소재 웨이퍼로, Test 및 Reclaim 등급의 웨이퍼이다. 반도체는 물론 태양전지 제작 공정 등 다양하게 활용된다.

[그림] 실리콘 웨이퍼 생산 공정

보고서 2.  폴리실리콘 칩생산 장비(PolyCrystalline Silicon)

     페이지 :  30 p   

폴리실리콘 칩 생산 장비는 반도체급 실리콘칩을 생산하는 폴리실리콘 파쇄공정 자동화 설비이며, 본 기술은 파쇄된 폴리실리콘을 빠른 속도로 입도 선별하는 기술과 파쇄과정에 포함될 수 있는 다양한 이물질을 신속하고 정확하게 제거하는 기술이 핵심이다.

반도체급 폴리실리콘 칩 생산은 물론 반도체 웨이퍼 등 다양하게 활용된다.

[그림] 덕영엔지니어링의 이물선별기

보고서 3.   반도체 웨이퍼 검사 장치(Semiconductor Test Equipment)

 페이지 :  69 p      Appendix: 유사 특허 조사리스트 (33개)

반도체 웨이퍼의 결함을 검사하기 위해 웨이퍼 영상을 획득, 검사하는 웨이퍼 영상 검사 장치로서 주기적으로 조명광을 발생시켜서 대상 웨이퍼에 조사한 후 반사되는 웨이퍼의 영상을 투과 및 산란시켜 얻은 분할 영상의 패턴을 분석해 결함여부를 판단하는 반도체 전공정에서의 패턴결함 검사 장치이다.

[그림] 반도체 검사 장치(예시)