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[기술&시장 리포트] 약품 공급 장치(Chemical Supply System)

[기술&시장 리포트] 약품 공급 장치(Chemical Supply System)

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반도체 및 디스플레이 제조공정에서 잉크와  화학약품을 연속으로 공급하는 약품 공급 장치(Chemical Supply System) 분야 특허 기술 트렌드 및 시장 동향을 살펴본다.

보고서   2권 (총 95p)

 

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요약

반도체 및 디스플레이 제조공정에서 잉크와  화학약품을 연속으로 공급하는 약품 공급 장치(Chemical Supply System) 분야 특허 기술 트렌드 및 시장 동향을 살펴본다.

 

보고서  2권  (총 95 p)

별도 부록:  [특허DB 완전정복] 선행조사 및 특허검색 (80 p) 

 

보고서 1.  약액공급장치(Ink delivery System)

페이지 :  33 p   

 

약액공급장치는 정보 표시소자인 LCD(liquid crystal display), OLED(organic light emission diode) 등 디스플레이 제조공정용 잉크젯 장비의 핵심부품이다.

디스플레이 제조용은 물론 산업용 잉크젯 장비 등 다양하게 활용된다.

 

[그림] 잉크젯 공정 프로세스

 

보고서 2.   반도체 화학약품 중앙공급장치 부품(Chemical Supply System)

페이지 :  62 p           Appendix: 유사 특허 조사리스트 (18개)

 

화학약품을 양산 설비에서 요청하는 정밀농도로 희석과 혼합 공정을 진행해 공급하는 장치인 화학약품 혼합 장치(Chemical Blending System)를 거쳐 제일 마지막 뒷 공정에 있는 장치로서 공급받은 화학약품을 최종 양산 설비에 일정압력과 유량으로 연속 공급하는 장치로 정의할 수 있다.

 

[그림] 반도체 제조 화학약품 공급공정별 장치

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