IP활동

기계·소재

시장분석

전기·전자

프리미엄

[기술&시장 리포트] 챔버(Test Chamber)

[기술&시장 리포트] 챔버(Test Chamber)

20,000 

다양한 반도체 검사 장비에 폭넓게 활용되는 챔버(Test Chamber) 분야 특허 기술 트렌드 및 시장 동향을 분석한다.

샘플 보기

요약

챔버는 반도체 후공정에 사용되는 자동문(Auto Door) 방식의 장치로 다양한 반도체 검사 장비에 폭넓게 활용된다.

챔버(Test Chamber) 분야 특허 기술 트렌드 및 시장 동향을 살펴본다.

 

총 페이지 :     64 p  

Appendix: 유사 특허 조사리스트 (24개)

별도 부록 :  특허DB 완전정복 (종합편)  80 p  

 

챔버(Test Chamber) 기술 및 시장 

 

챔버 Door의 경우 수동(Manual 방식)과 자동(Auto Door 방식) 방식의 Door를 설치해 시료의 투입/제거시 Open/Close 해 출입구를 밀폐시키는 장치로 챔버 구성 요소에 필요한 Unit이다.

 

[그림]  반도체 검사공정과 장비

추천 Report