IP활동

기계·소재

시장분석

전기·전자

프리미엄

[기술&시장 리포트] 칠러 & 챔버(Chiller & Test Chamber)

[기술&시장 리포트] 칠러 & 챔버(Chiller & Test Chamber)

30,000 

반도체 제조 및 테스트 공정에 사용되는 칠러 & 챔버(Chiller & Test Chamber)  분야 특허 기술 트렌드 및 시장 동향을 살펴본다.

보고서   2권 (총 79p)

 

샘플 보기

요약

반도체 제조 및 테스트 공정에 사용되는 칠러 & 챔버(Chiller & Test Chamber) 분야 특허 기술 트렌드 및 시장 동향을 살펴본다.

 

보고서  2권  (총 79 p)

별도 부록:  [특허DB 완전정복] 선행조사 및 특허검색 (80 p) 

 

보고서 1.  칠러장치(Chiller)

페이지 :  15 p   

 

칠러장치는 반도체 제조공정에 적용되는 장치로, 가변 개도율을 가진 핫가스 제어밸브와 전자식 팽창제어밸브의 상호 역방향 개도율 제어를 통해 냉매를 점진적으로 제어해 냉매 순환라인의 온도 헌팅을 방지한다.

반도체 제조는 물론 의료, 산업, 대형 건축물 등의 온도제어 분야에 다양하게 활용된다.

 

[그림] ㈜테키스트의 스텝 칠러장치

 

보고서 2.   챔버(Test Chamber)

페이지 :  64 p           Appendix: 유사 특허 조사리스트 (24개)

 

챔버 Door의 경우 수동(Manual 방식)과 자동(Auto Door 방식) 방식의 Door를 설치해 시료의 투입/제거시 Open/Close 해 출입구를 밀폐시키는 장치로 챔버 구성 요소에 필요한 Unit이다.

 

[그림]  반도체 검사공정과 장비

추천 Report